PDC200/210/510等離子清洗機(jī)
高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。
用途
?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
?去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
?印刷電路基板的干式清洗
?界面活性處理
?LED封裝
特征
?DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）
?RIE模式
?均勻性高的電極構(gòu)造
?操作簡單的觸摸屏控制器
規(guī)格
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型號 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
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等離子模式 |
RIE（DP模式選配） |
RIE/DP |
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電極構(gòu)造 |
平行平板（固定） |
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高頻輸出 |
Max300W |
Max500W |
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頻率 |
13.56MHz |
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控制·顯示 |
液晶觸摸屏 |
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反應(yīng)室尺寸 |
W400×D250×H150mm |
W500×D300×H200mm |
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電極尺寸 |
W250×D170mm |
W400×D200mm |
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反應(yīng)室材質(zhì) |
鋁 |
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反應(yīng)氣體 |
2系統(tǒng)（Ar、O2） |
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填充氣體 |
N2或干燥空氣 |
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反應(yīng)氣體流量控制 |
流量計 |
聚合控制器 |
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真空泵 |
另行選配 |
油泵（約345L/分）標(biāo)配 |
油泵（約500L/分）標(biāo)配 |
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氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個 |
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外形尺寸 |
W540×D600×H600mm |
W540×D600×H600mm |
W700×D700×H1285mm |
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重量 |
約100kg |
約105kg |
約180kg |
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電源 |
單相 AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
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