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            等離子灰化機(jī) PR200/300/301
            
          
            發(fā)布時(shí)間：2020-02-22 15:39:17瀏覽次數(shù)：次
            
        
            
        
        
        
            
          
            
          
            
            
            
              
            
              
            
               
            
          
            
          
            
          
             
            
            
              
            
                
              
                  
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             從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)
            
用途
            
●  高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通   過氧化反應(yīng)，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能   基（微量的水分及二氧化碳影響）。   同樣在氮?dú)獾入x子體中，氮原子被吸收在表面中，生   成-NH 2等官能基。
            
●  硅晶圓蝕刻。
            
●  材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
            
●  石棉預(yù)處理（膜過濾灰化）。
            
●  從電子設(shè)備到生化市場(chǎng)。
            
●  低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
            
●  使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
            
●  表面有機(jī)物去除
            
特點(diǎn)
            
●  RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
            
●  由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī)，很小的位置都可以安裝。
            
●  同步，自動(dòng)調(diào)諧，操作簡(jiǎn)單（PR200）。
            
●  等離子體反應(yīng)器（灰化設(shè)備）（PR200）。
            
●  同步、自動(dòng)調(diào)諧（PR200）。
            

            
反應(yīng)腔
            

            
［例］石棉分析前處理
            

            
規(guī)格
            

            
	
		
            
			
				
            
					型號(hào)
            
			            		
			
				
            
					PR200
            
			            		
			
				
            
					PR300
            
			            		
			
				
            
					PR301
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					模式
            
			            		
			
				
            
					DP模式，桶型
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					控制部
            
			            		
			
				
            
					高頻輸出
            
			            		
			
				
            
					Max300W
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					頻率
            
			            		
			
				
            
					13.56MHz
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					同調(diào)方式
            
			            		
			
				
            
					手動(dòng)2軸同調(diào)方式
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)部
            
			            		
			
				
            
					反應(yīng)腔
            
			            		
			
				
            
					耐熱玻璃 Φ100×160mm
            
			            		
			
				
            
					超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室
            
			            		
			
				
            
					耐熱玻璃 Φ118×160mm
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)氣體
            
			            		
			
				
            
					1系統(tǒng)（氧氣）流量計(jì)
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					控制
            
			            		
			
				
            
					手動(dòng)密閉閥
            
			            		
			
				
            
					自動(dòng)減壓、自動(dòng)密閉閥
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					配管材質(zhì)
            
			            		
			
				
            
					不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金
            
			            		
			
				
            
					不銹鋼、特氟龍
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					外形尺寸
            
			            		
			
				
            
					W350×D400×H500mm
            
			            		
			
				
            
					W438×D520×H556mm
            
			            		
			
				
            
					W438×D520×H630mm
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					重量
            
			            		
			
				
            
					約10kg
            
			            		
			
				
            
					約36kg
            
			            		
			
				
            
					約34kg
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					電源
            
			            		
			
				
            
					AC100V 15A
            
			            		
			
				
            
					AC100V 7A
            
			            		
		
            
	            

            

            

 
            
        
        
               
        
      
            
       
    
            
  
            

            



            
  
             
     
    
    
     
    
    
  
            

            
 



            
  
            
    
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