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            潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008

            發(fā)布時間:2020-02-01 17:22:02瀏覽次數(shù):
            用途:光刻工藝后段,光刻膠固化

            特點
            •最高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。
            •程序運轉(zhuǎn)功能,有自動/手動兩種操作模式。
            •快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。
            •配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。
            •全不銹鋼材質(zhì)。
            •在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。

            技術規(guī)格


            型號

            潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008   

            溫度范圍

            室溫+30360

            室溫+50500

            溫度分布精度

            ±4.0℃(at 360℃)    

            ±8.0℃(a500℃)

            溫度上升時間

            60min(室溫→360℃)      

            90min(室溫→500℃)

            溫度下降時間

            90min360℃→50℃)     

            120min500℃→50℃)

            氧濃度

            20ppm以下  

            氧濃度下降時間

            45分鐘  

            潔凈度

            100

            裝備

            氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

            內(nèi)尺寸

            W600×D600×H600mm    

            電源

            3AC380V

             



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