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            等離子清洗機(jī) YSP63FA
            
          
            發(fā)布時(shí)間：2020-02-21 12:45:38瀏覽次數(shù)：次
            
        
            
        
        
        
            
          
            
          
            
            
            
              
            
              
            
               
            
          
            
          
            
          
             
            
            
              
            
                
              
                  
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             可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制
            
●  操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒。
            
●  軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
            
●  傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
            
●  可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購品）。
            

            
規(guī)格 
            

            
	
		
            
			
				
            
					型號(hào)
            
			            		
			
				
            
					YSP63FA
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					模式
            
			            		
			
				
            
					RIE（DP模式選購）
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					高頻輸功率
            
			            		
			
				
            
					600W
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)臺(tái)尺寸
            
			            		
			
				
            
					W385×D362mm
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					內(nèi)腔尺寸
            
			            		
			
				
            
					W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)氣體
            
			            		
			
				
            
					2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)氣體流量控制
            
			            		
			
				
            
					質(zhì)量流量控制器
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					真空泵
            
			            		
			
				
            
					旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					氣體導(dǎo)入口
            
			            		
			
				
            
					反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					外形尺寸
            
			            		
			
				
            
					W1860×D1100×H1800mm
            
			            		
		
            
	            

            

            

 
            
        
        
               
        
      
            
       
    
            
  
            

            



            
  
             
     
    
    
     
    
    
  
            

            
 



            
  
            
    
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