產(chǎn)品目錄
            
    
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            等離子清洗機(jī) YSP600U/2KU
            
          
            發(fā)布時間：2020-02-21 12:51:04瀏覽次數(shù)：次
            
        
            
        
        
        
            
          
            
          
            
            
            
              
            
              
            
               
            
          
            
          
            
          
             
            
            
              
            
                
              
                  
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             樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合
            
用途
            
●  提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
            
●  清洗各類基板。
            
●  電子部品、材料表面改質(zhì)。
            
●  去除有機(jī)物和自然氧化膜。
            

            
特點
            
●  體積小，節(jié)省空間。
            
●  選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
            
●  更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
            
●  可通過操作面板自由切換等離子模式。
            
●  配備冷卻反應(yīng)臺。
            

            
內(nèi)槽
            

            

            
技術(shù)規(guī)格
            

            
	
		
            
			
				
            
					型號
            
			            		
			
				
            
					YSP600U
            
			            		
			
				
            
					YSP2KU
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					模式
            
			            		
			
				
            
					RIE（DP模式選購）
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					高頻輸功率
            
			            		
			
				
            
					600W
            
			            		
			
				
            
					2000W
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)臺尺寸
            
			            		
			
				
            
					W300×D300mm
            
			            		
			
				
            
					W600×D600mm
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)氣體
            
			            		
			
				
            
					2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					反應(yīng)氣體流量控制
            
			            		
			
				
            
					質(zhì)量流量控制器
            
			            		
		
            
		
            
			
				
            
					氣體導(dǎo)入口
            
			            		
			
				
            
					反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
            
			            		
		
            
	            

            

            

            

 
            
        
        
               
        
      
            
       
    
            
  
            

            



            
  
             
     
    
    
     
    
    
  
            

            
 



            
  
            
    
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