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            等離子清洗機(jī) V1000/1000X/1000XS
            
          
            發(fā)布時(shí)間：2020-02-21 16:50:50瀏覽次數(shù)：次
            
        
            
        
        
        
            
          
            
          
            
            
            
              
            
              
            
               
            
          
            
          
            
          
             
            
            
              
            
                
              
                  
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             13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP雙模式
            
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式 高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 多種用途。
            
特征
            
●  可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
            
●  搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
            
●  可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
            

            
用途
            
●  硅晶圓的灰化及蝕刻
            
●  基板表面污垢處理
            
●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
            
●  半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
            
●  自然氧化膜·有機(jī)物去除
            
●  界面活性處理
            
●  表面污染物去除
            

            
內(nèi)槽
            

            

            
規(guī)格
            

            

            
	
		
            
			
				型號(hào)
			
				V1000
			
				V1000X
			
				V1000XS
		
            
		
            
			
				等離子模式
			
				DP/RIE
		
            
		
            
			
				高頻電源
			
				13.56MHz
		
            
		
            
			
				輸出功率
			
				Max1000W
			
				Max1000 & 1500W
		
            
		
            
			
				有效電極尺寸
			
				W280×D280mm
			
				W300×D300mm
			
				W400×D375mm
		
            
		
            
			
				電極
			
				平行平板
			
				2段電極（獨(dú)立）
			
				平板（多目的）
		
            
		
            
			
				反應(yīng)氣體
			
				聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
		
            
		
            
			
				真空泵（標(biāo)配）
			
				約1000L/min
			
				約1500L/min
			
				1000 & 1500L/min
		
            
		
            
			
				安全裝置
			
				門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等
		
            
	            

            

            
管路連接圖
            

            

 
            
        
        
               
        
      
            
       
    
            
  
            

            



            
  
             
     
    
    
     
    
    
  
            

            
 



            
  
            
    
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